摘要:通过对激光反射膜系中的光学损耗的分析,提出并设计了应用非线性膜层( Ta2O5 /Sio2 )附加在常用的λ/4膜层( ZnS /MgF2 )上面的新型膜系。旨在减小反射膜系的散射损耗,最大限度地提高激光反射镜的反射率。设计结果表明,在相同的条件下,用非线性膜层Ta2O5 和SiO2 构成的新的组合膜系的激光反射镜与常用的Zn S /Mg F2膜系的激光反射镜比较,表面散射损耗达到了设计的要求,体积散射损耗减小的更多,其它的性能也得到了改善。利用本设计制备的超低散射损耗的高反射率激光反射镜,对激光技术的应用与发展有着重要的意义。